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中国科学院上海光学精密机械研究所连续相位板（CPP）刻蚀加工中标公告
来源：中国政府采购网2026-10-29
中国科学院光电技术研究所12英寸微纳结构刻蚀系统公开招标公告（重新采购）
来源：中国政府采购网2026-10-28
中国科学院光电技术研究所12英寸微纳结构刻蚀系统废标公告
来源：中国政府采购网2026-10-27
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