2022.11.30, 中国中车, 中国互联网投资基金, 北京集成电路装备产业投资, 义柏资本
2022.07.27, 北京集成电路装备产业投资
2019.03.09, 华成欧伦, 元道资本, 华成智远, 赞路股权投资
2018.10.08, 达晨创投, 云启资本, 基石基金
2016.05.12, 丰厚资本, 爱数EISOO
Note: collected from public online reports, for reference only.