半导体智能制造解决方案提供商
2026.04.24, 金桥基金
2025.11.14, 浦科投资/浦东科投, 集萃华财
2023.07.01, 旭诺资产, 兴橙资本
2022.10.01, 全德学资本
2021.10.01, 华汇宇资产
2018.12.01, 和基投资
1763.05.16, 集萃华财, 浦科投资
Note: collected from public online reports, for reference only.