半导体材料及专用设备研发商
2024.10.28, 中科长光创投, 陕西基金, 富越资本, 吉林中科
2023.01.25, 中芯聚源, 超越摩尔基金, 七匹狼, 中科长光, 中孚资本
2023.01.01, 中芯聚源, 超越摩尔投资, 软银中国资本, 七晟资本, 中科长光创投, 知守投资
2021.06.01, 捷佳伟创
Note: collected from public online reports, for reference only.