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南京大学无掩膜激光直写光刻机中标公告
来源：中国政府采购网2026-10-09
中国电子科技集团公司第十三研究所激光直写光刻机采购招标公告
来源：全国公共资源交易平台2026-10-08
步进式光刻机（DUV）采购需求征集公告
来源：中国政府采购网2026-09-29
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