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中国科学院半导体研究所超精密化合物半导体衬底抛光机采购项目（第二次）成交公告
来源：中国政府采购网2026-07-21
中国科学院半导体研究所超精密化合物半导体衬底抛光机采购项目（第二次）竞争性磋商
来源：中国政府采购网2026-07-08
中国科学院微电子研究所化合物半导体CMP系统采购项目（第二次）公开招标公告
来源：中国政府采购网2026-06-05
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