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中国科学院上海微系统与信息技术研究所新材料存储阵列全集成工艺验证光罩制作服务采购项目成交公告
来源：中国政府采购网2026-01-30
中国科学院上海微系统与信息技术研究所新材料单项工艺开发光罩制作服务采购项目成交公告
中国科学院上海微系统与信息技术研究所新材料256M存储阵列全集成工艺光罩制作服务采购项目终止公告
来源：中国政府采购网2026-01-21
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