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清华大学薄膜制备及精细制作系统中标公告
来源：中国政府采购网2026-09-30
高功率磁控溅射复合薄膜沉积平台公开招标公告
中国科学院上海光学精密机械研究所前道工艺设备（干法刻蚀-薄膜沉积工艺）采购项目单一来源公示
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