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中国科学技术大学无掩模光刻机项目公开招标公告
来源：中国政府采购网2026-10-16
暨南大学物理与光电工程学院电子束光刻机(EBPG)2027-2029年延保服务项目单一来源采购公示
来源：中国政府采购网2026-10-15
北京大学微米纳米加工技术全国重点实验室接近接触式紫外光刻机采购项目公开招标公告（第二次）
来源：中国政府采购网2026-10-13
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