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兴华芯（绍兴）半导体科技有限公司获得战略投资1.839亿人民币#融资#2026-01-20
中国科学院微电子研究所光刻掩模版制版加工服务采购项目公开招标公告
来源：中国政府采购网2026-05-19
清华大学无掩模版紫外光刻机采购项目公开招标公告
来源：中国政府采购网2026-04-24
中国科学院光电技术研究所掩模版外协加工供货服务采购项目中标公告
来源：中国政府采购网2026-04-23
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