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浙江六方半导体科技有限公司获得C轮#融资#2026-09-22
蓝河科技（绍兴）有限公司获得B+轮数亿人民币#融资#2026-07-21
中国科学院微电子研究所化合物半导体CMP系统采购项目成交公告
来源：中国政府采购网2026-09-21
中国科学院半导体研究所超精密化合物半导体衬底抛光机采购项目（第二次）成交公告
来源：中国政府采购网2026-07-21
中国科学院半导体研究所超精密化合物半导体衬底抛光机采购项目（第二次）竞争性磋商
来源：中国政府采购网2026-07-08
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