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天津大学化工学院智能自动化低压CVD管式炉反应器采购项目（公开）公开招标公告
来源：中国政府采购网2026-09-23
清华大学电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-CVD)采购项目中标公告
来源：中国政府采购网2026-08-11
西安交通大学五腔室 cluster CVD中标公告
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