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低气压等离子体增强化学气相沉积系统采购需求征集公告
来源：中国政府采购网2026-09-22
清华大学等离子体增强化学气相沉积采购项目中标结果公告
来源：中国政府采购网2026-09-01
清华大学电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-CVD)采购项目中标公告
来源：中国政府采购网2026-08-11
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