[Summary] 荧光光纤温度检测设备供应商
成立：2016年10月18日在上海注册成立。注册1415万元人民币。高新技术企业，市“专精特新”企业。 目前团队300+人。研发团队和知识产权：研发团队60+人；自有知识产权体系（已申请专利57件（其中发明专利26项），已获授权35项（其中中国发明专利7项，美国专利1项）。产品：设备关键零部件-刻蚀机专用荧光光纤温度传感器、高精度温度传感器探头、扩散炉管Inner TC，温湿度传感器；晶圆测试传感器—晶圆测温系统、无线多物理量晶圆传感器、腔体清洁晶圆等。产品应用于光刻、干刻、薄膜、测试、封测等制程。资质：国家高新技术企业（2025年拟申请*专精特新小巨人企业）科技部攻关项目承担单位；上海市科委两项研发项目承担单位上海市揭榜挂帅项目承担单位；2024年申请经信委“高质量”项目上海市科技小巨人（培育）企业，浦东新区区级企业研发中心。
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