半导体真空腔体零部件制造商
2024.12.20, 基石创投, 国中资本, 乾融资本, 维信诺
2024.12.05, 乾融控股, 基石基金, 北城资本, 国中常荣资产
2023.08.01, 合肥产投集团
2022.03.01, 和利资本, 东运创投, 弘博资本
2022.02.01, 芯动能投资, 国元股投
2021.02.01, 国元股投, 中芯聚源
Note: collected from public online reports, for reference only.