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上海陛通半导体能源科技股份有限公司获得战略投资5亿人民币#融资#2023-11-23
中国科学技术大学合肥同步辐射装置仪器设备更新改造项目-原子层沉积（ALD）设备中标公告
来源：中国政府采购网2025-11-28
中国科学技术大学合肥同步辐射装置仪器设备更新改造项目-原子层沉积（ALD）设备公开招标公告
来源：中国政府采购网2025-11-06
[YW01-WZ-GKZB-24-3195]中核光电-中试科研刚性产线ALD设备采购项目终止公告
来源：全国公共资源交易平台2025-08-15
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