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深圳市楠轩光电科技有限公司获得A+轮#融资#2026-04-20
深圳市纳设智能装备股份有限公司获得天使轮数千万元人民币#融资#2020-11-06
清华大学高真空电子束蒸发薄膜沉积系统采购项目公开招标公告
来源：中国政府采购网2026-10-26
高功率磁控溅射复合薄膜沉积平台中标公告
来源：中国政府采购网2026-10-23
中国科学院光电技术研究所金属氧化物薄膜沉积模组采购项目公开招标公告
来源：中国政府采购网2026-10-19
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