半导体器件专用设备制造商
2025.07.23, 君信资本, 吉六零基金
2024.01.19, 沃衍资本, 浦科投资, 迈为股份
2024.01.09, 浦科投资/浦东科投, 迈为科技
2022.12.01, 弘卓资本
Note: collected from public online reports, for reference only.