集成电路生产制造工艺装备产业中的工艺检测设备
2024.11.05, 金石投资, 招商致远资本, 金信资本, 鼎青投资, 河南资产
2019.11.14, 浦东科投, 海風投资, 上海同祺
Note: collected from public online reports, for reference only.