直接成像设备及直写光刻设备的研发和生产
2026.06.01, 合肥建投资本, 芯耀投资, 晶合集成, 摩根大通, 胜宏科技, CPE Chestnut, Lion Global, CICC FT, 高瓴资本, Huadeng Victorious, 澜起科技, 永联投资, Monterey Park, 博时国际, 汇添富资本, 富国基金, 广发基金, 通富微电, 阳光电源
2023.08.01, 诺德基金, 国泰海通, 中安资本, 汇添富资本, 瑞银集团, 招商证券, 华泰投资, 蓝海国投, 个人投资者
2021.06.01, 海通开元
2021.04.01,上交所
Note: collected from public online reports, for reference only.