至微半导体有限公司成立 于2017年，注册资本45500万人民币 ,由至纯科技控股（至纯科技，成立 于2000年，是一家在上交所上市的高 新技术企业，证券代603690.SH）。
至微半导体作为至纯科技独立的事 业部，定位为湿法业务运营平台，致 力于打造高端湿法设备制造开发平台。并已形成了以Ultron作为本土品牌 的槽式湿法清洗设备（B200,B300） 和单晶圆湿法清洗设备（S300）系列。 其全资子公司江苏启微半导体设备有 限公司负责设备制造，同时至微旗下 合肥晶圆再生和部件再生项目于2020年全面建设（4万平方米），并作为国 内首条十二寸晶圆再生线，为填补国 内专业领域服务空白贡献力量；此外 ,公司在日本、韩国、台湾地区等均 设有研发中心。公司约有80位专业技 术人员分布于5处研发中心，积极开展 跨区域研发合作，在4类工艺装备领域 ,已经获得了多项专利授权，截止 2020年底，湿法设备累计申请专利 122项，其中发明专利74项。
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