半导体设备制造商
2025.11.25, 永鑫方舟资本, 金圆集团/金圆资本, 合肥产投
2025.07.07, 多家头部产业投资机构
2025.03.10, 欣柯创投
2025.01.01, 欣柯创投, 华夏瓴投
2024.01.01, 毅达资本, 襄禾资本, 新尚投资, 欣柯创投, 乾融控股
2023.07.01, 毅达资本, 海望资本, 春华资本, 临芯投资, 锡创投
2022.12.01, 临芯投资, 中科创星, 湖杉资本, 经开尚贤湖投资
Note: collected from public online reports, for reference only.