ALD镀膜解决方案提供商
2025.12.24, 国开科创, 国调基金, 招银国际, 中银投资, 光谷金控
2025.11.27, 国调基金
2024.05.30, 青松资本, 中金资本, 中车四方所, 中车资本, 石溪资本, 千帆资本
2024.03.01, 尚颀资本, 鼎晖投资, 招商局创投, 金浦投资, 新鼎资本, 创新工场, 华控基金, 青创投资, 海松资本, 同歌创投, 海澳芯科, 鑫芯创投, 珩创投资, 上汽集团
2024.02.01, 上汽投资, 尚颀资本, 鼎晖投资, 招商局创投, 金浦投资, 新鼎资本, 创新工场, 华控基金, 青创投, 海松资本, 海澳芯科, 鑫芯创投, 珩创投资, 同歌创投
2024.01.04, 尚颀资本, 鼎荣资本
2023.06.01, 澳柯玛投资
2022.11.01, 中车资本, 石溪资本, 鑫芯创投, 海松资本, 澳柯玛投资, 同歌创投, 千帆资本, 君桐资本, 珩创投资, 三鑫资产, 中金资本, 渡越资本
2019.08.01, 中车资本, 中国中车
Note: collected from public online reports, for reference only.