专业从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务,致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。
2025.03.11, 中国科学院沈阳自动化研究所, 青岛城投集团
2019.12.16,上交所
2019.12.01,
2015.12.01, 沈阳科投
Note: collected from public online reports, for reference only.