No.55 上海 Popularity Ranking No.21 浦东新区 No.1 CIP清洗设备 No.1 抛光机 No.1 微分头 No.1 清洗设备 No.1 精密零部件 No.1 工艺设备 No.1 存储系统 No.1 企业存储 No.1 表面处理 No.2 设备制造 No.2 半导体硅晶片 No.2 半导体刻蚀 专精特新小巨人企业 高新技术企业 专利示范企业 省级高新技术企业 省级创新型中小企业 发明专利